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SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范

SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范

SJ/T 11275-2002

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标准SJ/T 11275-2002标准状态

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标准详情

  • 标准名称：卧式液相外延系统通用规范
  • 标准号：SJ/T 11275-2002
    中国标准分类号：L92
  • 发布日期：2002-10-30
    国际标准分类号：29.260
  • 实施日期：2003-03-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：信息产业部
  • 标准分类：电气工程SJ 电子

内容简介

行业标准《卧式液相外延系统通用规范》，主管部门为信息产业部。本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包裝、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备，亦可参照执行。

起草单位

信息产业部电子第四十八研究所

起草人

袁章其、刘日喜、王理政、李军阳

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