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SJ 20984-2008 化学气相淀积(CVD)设备通用规范

SJ 20984-2008 化学气相淀积(CVD)设备通用规范

SJ 20984-2008

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 20984-2008标准状态

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本规范规定了化学气相淀积设备的要求、质量保证规定、交货准备。本规范适用于电子行业中光电子、微电子器件的研制和生产的化学气相淀积设备，其它行业的类似设备也可参照执行。

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