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GB/T 44926-2024 纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法

GB/T 44926-2024 纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法

Nanotechnologies—Characterization of micro surface and sub surface—Optical dark-field confocal microscopy

GB/T 44926-2024

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标准GB/T 44926-2024标准状态

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  • 标准名称:纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法
  • 标准号:GB/T 44926-2024
    中国标准分类号:N51
  • 发布日期:2024-12-31
    国际标准分类号:17.040.30
  • 实施日期:2025-07-01
    技术归口:全国纳米技术标准化技术委员会
  • 代替标准:
    主管部门:中国科学院
  • 标准分类:计量学和测量、物理现象长度和角度测量测量仪器仪表

内容简介

国家标准《纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口,主管部门为中国科学院。
本文件描述了采用光学暗场共焦显微镜对微区表面及亚表面的表征方法。本文件适用于固体材料。

起草单位

哈尔滨工业大学、昆明物理研究所、北京微电子技术研究所、中国计量科学研究院、西安应用光学研究所、航天科工防御技术研究试验中心、

起草人

刘俭、 施玉书、 胡旭、 张云龙、 刘辰光、张树、李冬梅、冯慧、

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