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GB/T 26250-2025 电子气体 砷化氢

GB/T 26250-2025 电子气体 砷化氢

Electronic gas—Arsine

GB/T 26250-2025

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标准GB/T 26250-2025标准状态

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标准详情

  • 标准名称:电子气体 砷化氢
  • 标准号:GB/T 26250-2025
    中国标准分类号:G86
  • 发布日期:2025-04-25
    国际标准分类号:71.100.20
  • 实施日期:2025-11-01
    技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准:代替GB/T 26250-2010
    主管部门:国家标准委
  • 标准分类:化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子气体 砷化氢》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准委。
本文件规定了电子用砷化氢的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存,描述了相应的试验方法,提供了砷化氢的安全信息。本文件适用于以砷化锌为原料提纯制得的电子用砷化氢。

起草单位

玉门大洋天庆石化有限责任公司、上海栎智半导体科技有限公司、上海亿钶气体股份有限公司、浙江省标准化研究院、福建恒申电子材料科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、联雄投资(上海)有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、西南化工研究设计院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、全椒南大光电材料有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、沈阳中复科金压力容器有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、

起草人

马彬淇、 马杰、 孙建、 叶凯、 沈峰、 史兰、 吕磊、 刘丹、 赖晓峰、 王见见、 黄辉、 李春华、 王大为、 李明、 谈益强、 尹乐乐、 唐中伟、 周鹏云、 潘华杰、任如、乔洋、董建平、崔雯、赵赛迪、孙福楠、郭琼、依俊廷、杜雨桐、杨金山、鲍光强、常侠、牛迪、赵洁、何波、唐霞梅、

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