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JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范

JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范

JJF 1932-2021

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标准JJF 1932-2021标准状态

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标准详情

  • 标准名称:椭偏仪校准规范
  • 标准号:JJF 1932-2021
    标准状态:即将实施
  • 发布日期:2021-12-08
    归口单位全国光学计量技术委员会
  • 实施日期:2022-06-08
    发布部门:国家市场监督管理总局
  • 代替标准:JJF1497,GJB/J5463,SEMIE141-0705,HandbookofEllipsometry椭偏术手册HGTompkinsandEAIrene(eds.)WilliamAndrewPublishing2005,Ellipso
    标准类别:计量检定规程
  • 文件格式:纸质版或者PDF电子版(用Acrobat Reader打开)或Word版本doc格式

内容简介

本规范适用于波长范围在250nm~2000nm内的椭偏仪的校准。

起草单位

中国计量科学研究院、中国兵器工业第二〇五研究所

起草人

刘文德、陈赤、王雷

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