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JJF(电子)0072-2021 非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范

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JJF(电子)0072-2021

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标准JJF(电子)0072-2021标准状态

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标准详情

  • 标准名称：非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范
  • 标准号：JJF(电子)0072-2021
    标准状态：现行
  • 发布日期：2021-12-02
    归口单位
  • 实施日期：2021-12-02
    发布部门：国家市场监督管理总局
  • 代替标准：
    标准类别：计量检定规程
  • 文件格式：纸质版或者PDF电子版（用Acrobat Reader打开）或Word版本doc格式

内容简介

本本规范适用于测试范围在0.1Ω·CM~200.0Ω·CM(厚度100ΜM~1000ΜM)的非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统的校准。电阻率测试系统主要是利用无接触电涡流探头系统,检测由被测半导体晶片感应的涡流,辅以控制器进行信号处理完成对半导体晶片电阻率的无损测量。它主要由涡流探头、高频线圈和控制器等部分组成。

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