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T/GVS 007-2022 射频电源动态阻抗测试方法

T/GVS 007-2022 射频电源动态阻抗测试方法

T/GVS 007-2022

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  • 标准名称：射频电源动态阻抗测试方法
  • 标准号：T/GVS 007-2022
    中国标准分类号：K80/M745
  • 发布日期：2022-07-11
    国际标准分类号：19.080
  • 实施日期：2022-07-11
    团体名称：广东省真空学会
  • 标准分类：K 房地产业试验

内容简介

本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2MHz～100MHz的射频电源动态阻抗测试规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告
适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2MHz～100MHz的射频电源动态阻抗测试

起草单位

深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学、大连理工大学、拓荆科技股份有限公司。

起草人

乐卫平、林伟群、姚志毅、唐亚海、林桂浩、黄永镇、刘涛、张桂东、张赛谦、郭冬、高飞。

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