T/CIE 132-2022 磁控溅射设备薄膜精度测试方法_标准下载

T/CIE 132-2022 磁控溅射设备薄膜精度测试方法

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本标准给出了磁控溅射设备薄膜精度评价的术语、测试原理、被测件、测试环境、测试设备、测试程序等
本标准适用于磁控溅射设备沉积薄膜精度的验证

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