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T/CSEA 26-2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件

T/CSEA 26-2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件

T/CSEA 26-2023

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  • 标准名称：电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件
  • 标准号：T/CSEA 26-2023
    中国标准分类号：C336
  • 发布日期：2023-02-07
    国际标准分类号：25.220.01
  • 实施日期：2023-03-01
    团体名称：中国表面工程协会
  • 标准分类：机械制造C 制造业

内容简介

本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆（ZrO2(HfO2)-7~8wt.%Y2O3）原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证，标志、包装、运输和贮存等
本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材
表1　8YSZ陶瓷靶材成分及杂质含量化学成分/wt.%主成分含量　杂质含量Y2O3+ZrO2(HfO2)　HfO2　Y2O3　Al2O3　Fe2O3　SiO2　TiO2　CaO　MgO　Cl-　碳残留≥99.65

起草单位

北京金轮坤天特种机械有限公司、中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司、北京航空航天大学。

起草人

何箐、邹 晗、王世兴、王璐、彭徽。

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