T/GVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范_标准下载

T/GVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范

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本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果
本文件适用于半导体设备用低温泵的评价
规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。

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