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T/GVS 017-2024 连续式光学磁控溅射镀膜设备

T/GVS 017-2024 连续式光学磁控溅射镀膜设备

T/GVS 017-2024

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标准T/GVS 017-2024标准状态

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标准详情

  • 标准名称：连续式光学磁控溅射镀膜设备
  • 标准号：T/GVS 017-2024
    中国标准分类号：J78/C344
  • 发布日期：2024-12-24
    国际标准分类号：23.160
  • 实施日期：2024-12-24
    团体名称：广东省真空学会
  • 标准分类：流体系统和通用件C 制造业

内容简介

本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存
本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售
规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售。

起草单位

广东省新兴激光等离子体技术研究院、等离子体装备科技（广州）有限公司、离子束（广州）装备科技有限公司、广州市尤特新材料有限公司。

起草人

朱昆、李彬、曹祯烨、曹健辉、刘嘉静、杨锐、郑铭浩、周志宏。

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