T/CSCP 0059.2-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第2部分：选材与评价_标准下载

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T/CSCP 0059.2-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第2部分：选材与评价

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标准T/CSCP 0059.2-2025标准状态

发布于：2025-09-01
实施于：2025-10-01
废止

标准详情

标准名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第2部分：选材与评价
标准号：T/CSCP 0059.2-2025
中国标准分类号：/C397
发布日期：2025-09-01
国际标准分类号：77.060
实施日期：2025-10-01
团体名称：中国腐蚀与防护学会
标准分类：冶金 C 制造业

内容简介

本文件规定了MEMS材料腐蚀芯片及传感器的选材的基本原则、常用材料类型及其性能要求，以及材料评价方法
本文件适用于MEMS材料腐蚀芯片及传感器在设计、制造与材料选型过程中的材料选择与性能评价，其他类型的材料腐蚀传感器也可参照使用
标准主要规定了MEMS材料腐蚀芯片及传感器的通用性选材方法，包括选材原则、常用材料类型及其性能指标等内容。适用于MEMS材料腐蚀芯片及传感器在设计、制造和材料选型阶段的材料选择工作，旨在确保芯片及传感器在各类腐蚀环境下稳定、准确、可靠地运行，同时综合考量材料的兼容性、可加工性、成本效益等因素，满足工业生产、环境监测等领域对该类产品的多样化需求。

起草单位

南方电网科学研究院有限责任公司、北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司

起草人

黄增浩、杨小佳、卢壹梁、张强、李晓刚、程学群、廖永力、郝文魁、陈云、孙雷、李清、徐迪、朱仁政、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、马宏驰、王晓芳、杨丙坤、黄路遥、韩钰

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