T/CCSAS 052-2025 三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范_标准下载

T/CCSAS 052-2025 三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范

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本文件界定了采用三氯氢硅(TCS)还原法生产多品硅的术语和定义,规定了企业从设计到生产过程的安全技术基本要求,包括设计与总图布局中的安全要求、生产过程的安全要求。本文件适用于采用三氯氢硅还原法工艺技术生产多品硅的企业。采用其他工艺技术生产多品硅的企业可参照执行。

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