GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷
GB/T 31986-2015
国家标准推荐性标准GB/T 31986-2015标准状态
- 发布于:2015-09-11
- 实施于:2016-05-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子工业用气体 八氟丙烷》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。 本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备,并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品,以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。 分子式:C3F8。 相对分子质量:188.017(按2011年国际相对原子质量)。
起草单位
国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、四川中测标物科技有限公司、西南化工研究设计院有限公司、浙江省化工研究院有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、
起草人
林宇巍、 陈熔、 廖恒易、 史婉君、方路、
相近标准
20091223-T-469 电子气体 八氟环丁烷
DL/T 920-2019 六氟化硫气体中空气、四氟化碳、六氟乙烷和八氟丙烷的测定 气相色谱法
GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢
20231008-T-469 电子气体 大宗气体
GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨
GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩
GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧
GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯
* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,版权归原作者所有,如侵犯您的权益,请联系我们处理。
- 标准质量:
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准,期待。
② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们,感谢!
③ 本站资源均来源于互联网,仅供网友学习交流,若侵犯了您的权益,请联系我们予以删除。
下载说明
「相关推荐」
- 1 GB/T 29493.6-2013 纺织染整助剂中有害物质的测定 第6部分:聚氨酯
- 2 GB/T 26963.2-2011 废旧轮胎常温机械法制取橡胶粉生产线 第2部分:
- 3 GB/T 17873-2014 纯氖和高纯氖
- 4 GB/T 672-2006 化学试剂 六水合氯化镁(氯化镁)
- 5 GB/T 21893-2008 纺织平网印花制版感光乳液
- 6 GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢
- 7 GB/T 23837-2009 工业循环冷却水中铝离子的测定 原子吸收光谱法
- 8 GB/T 13689-2007 工业循环冷却水和锅炉用水中铜的测定
- 9 GB/T 25794-2010 反应金黄KN-RNL(C.I.反应橙107)及反应红M-RB(C.I.反应
- 10 GB/T 32116-2015 循环冷却水中总有机碳(TOC)的测定
- 11 GB/T 29598-2013 荧光增白剂中三嗪类杂质的限量与测定
- 12 GB/T 6373-2007 表面活性剂 表观密度的测定