GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨
GB/T 14601-2009
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标准GB/T 14601-2009标准状态
- 发布于:2009-10-30
- 实施于:2010-05-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子工业用气体 氨》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 u3000u3000本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化。
起草单位
大连光明化工研究院、武汉市鼎立化工有限责任公司、中国西南油气田成都天然气化工总厂、西南化工研究设计院、
起草人
孙福楠、 刘泽军、 周鹏云、 付永成、谢国清、
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