GB/T 31058-2014 电子工业用气体四氟化硅_标准下载

当前位置：标准网国家标准

GB/T 31058-2014 电子工业用气体四氟化硅

Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride

GB/T 31058-2014

国家标准推荐性

收藏报错

标准GB/T 31058-2014标准状态

发布于：2014-12-22
实施于：2015-07-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体四氟化硅
标准号：GB/T 31058-2014
中国标准分类号：G86
发布日期：2014-12-22
国际标准分类号：71.100.20
实施日期：2015-07-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子工业用气体四氟化硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于萤石硫酸法、六硅酸盐热分解法、单质硅直接化法制备的四氟化硅它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。分子式：SiF4。相对分子质量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）。

起草单位

核工业理化工程研究院华核新技术开发公司、绿菱电子材料（天津）有限公司、贵州大学、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、西南化工研究设计院有限公司、

起草人

邓建平、李于教、崔学文、方华、傅铸红、汤有伦、

相近标准

GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢
20231008-T-469 电子气体大宗气体
GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨
GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩
GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧
GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦
GB/T 15909-2017 电子工业用气体硅烷
GB/T 33774-2017 电子工业用气体丙烯
SJ/T 11517-2015 电子工业用气体一氧化碳
20231009-T-469 电子气体卤化物气体

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载