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GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法

GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法

Test method for particles in electronic grade water by instrument

GB/T 11446.9-2013

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标准GB/T 11446.9-2013标准状态

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标准详情

  • 标准名称：电子级水中微粒的仪器测试方法
  • 标准号：GB/T 11446.9-2013
    中国标准分类号：L90
  • 发布日期：2013-12-31
    国际标准分类号：31.030
  • 实施日期：2014-08-15
    技术归口：工业和信息化部（电子）
  • 代替标准：代替GB/T 11446.9-1997
    主管部门：工业和信息化部（电子）
  • 标准分类：电子学电子技术专用材料

内容简介

国家标准《电子级水中微粒的仪器测试方法》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。
GB/T 11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的微粒粒径不小于0.05μm,微粒的浓度范围为0~10000个／mL。

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所、

起草人

王奕、 褚连青、 何秀坤、段曙光、

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