GB/T 31469-2015 半导体材料切削液
GB/T 31469-2015
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标准GB/T 31469-2015标准状态
- 发布于:2015-05-15
- 实施于:2016-01-01
- 废止
内容简介
国家标准《半导体材料切削液》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了半导体材料切液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。
起草单位
扬州华裕光伏材料有限公司、扬州市职业大学、中国电子技术标准化研究院、西安飞讯光电有限公司、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、
起草人
缪德俊、 徐蓉艳、 丁浩、 郭倩、 缪立山、彭新玲、蒲学军、
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