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GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

GB/T 1557-2006

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  • 标准名称：硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
  • 标准号：GB/T 1557-2006
    中国标准分类号：H17
  • 发布日期：2006-07-18
    国际标准分类号：77.040.01
  • 实施日期：2006-11-01
    技术归口：中国有色金属工业协会
  • 代替标准：代替GB 1557-1983,GB/T 1557-1989,GB/T 14143-1993被GB/T 1557-2018代替
    主管部门：中国有色金属工业协会
  • 标准分类：冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

国家标准《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》由610（中国有色金属工业协会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω?cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω?cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。本标准测量氧含量的有效范围从1×10的16次方at/cm3到硅中间隙氧的最大固溶度。

起草单位

峨眉半导体材料厂、

起草人

梁洪、 覃锐兵、 王炎、

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