标准详情
- 标准名称:硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
- 标准号:GB/T 14146-1993
- 中国标准分类号:H21
- 发布日期:1993-02-06
- 国际标准分类号:
- 实施日期:1993-10-01
- 技术归口:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
- 代替标准:被GB/T 14146-2009被GB/T 14146-2009 -代替
- 主管部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:
本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容-电压测量方法。 本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。测量范围为10~10cm。
国家标准《硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
上海市有色金属总公司、
20065633-T-469 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
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硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
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