当前位置：标准网 国家标准

GB/T 12963-2009 硅多晶

GB/T 12963-2009 硅多晶

Specification for polycrystalline silicon

GB/T 12963-2009

国家标准推荐性
收藏 报错

标准GB/T 12963-2009标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：硅多晶
  • 标准号：GB/T 12963-2009
    中国标准分类号：H82
  • 发布日期：2009-10-30
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2010-06-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 12963-1996被GB/T 12963-2014代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《硅多晶》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了硅多晶的产品分类?﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则以及标志﹑运输﹑贮存。 u3000u3000本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。

起草单位

峨眉半导体材料厂、

起草人

罗莉萍、 张辉坚、 王炎、

相近标准

YS/T 724-2016 多晶硅用硅粉
YS/T 1061-2015 改良西门子法多晶硅用硅芯
YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
DB53/T 499-2013 多晶硅用三氯氢硅
GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法
GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法
DB53/T 501-2013 多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法
20231109-T-469 太阳能级多晶硅

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载
  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」