GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
GB/T 42676-2023
国家标准推荐性标准GB/T 42676-2023标准状态
- 发布于:2023-08-06
- 实施于:2024-03-01
- 废止
内容简介
国家标准《半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了利用X射线衍射仪测试半导体材料双晶摇摆曲线半高宽,进而评价半导体单晶晶体质量的方法。本文件适用于碳化硅、金刚石、氧化镓等单晶材料晶体质量的测试,硅、砷化镓、磷化铟等半导体材料晶体质量的测试也可参照本文件执行。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京通美晶体技术股份有限公司、弘元新材料(包头)有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司、江苏卓远半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东有研半导体材料有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、国标(北京)检验认证有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、新美光(苏州)半导体科技有限公司、
起草人
何烜坤、 刘立娜、 马春喜、 许蓉、 朱晓彤、 李向宇、 王书明、 赵松彬、 张新峰、 赵丽丽、 李素青、庞越、任殿胜、王元立、杨阳、潘金平、林泉、李国平、夏秋良、
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