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GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法

GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法

Test methods for warp of sapphire substrates

GB/T 31352-2014

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标准GB/T 31352-2014标准状态

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  • 标准名称：蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
  • 标准号：GB/T 31352-2014
    中国标准分类号：H21
  • 发布日期：2014-12-31
    国际标准分类号：77.040.99
  • 实施日期：2015-09-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：冶金金属材料试验金属材料的其他试验方法

内容简介

国家标准《蓝宝石衬底片翘曲度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片）翘曲度的测试方法。 本标准适用于直径50.8mm～304.8mm，厚度为不小于200μm的蓝宝石衬底片翘曲度的测试。

起草单位

江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、

起草人

薛抗美、 魏明德、 林清香、 肖宗杰、 黄修康、杭寅、

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