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GB/T 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法

GB/T 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法

Gallium arsenide epitaxial layer - determination of carrier concentration voltage-capacitance method

GB/T 11068-2006

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标准GB/T 11068-2006标准状态

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  • 标准名称:砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
  • 标准号:GB/T 11068-2006
    中国标准分类号:H17
  • 发布日期:2006-07-18
    国际标准分类号:77.040.01
  • 实施日期:2006-11-01
    技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会,全国有色金属标准化技术委员会
  • 代替标准:代替GB/T 11068-1989
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

国家标准《砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)、全国有色金属标准化技术委员会联合归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法,适用于砷化镓外延层基体材料中载流子浓度的测量。测量范围:1×10cm~5×10cm。

起草单位

北京有色金属研究总院、

起草人

王彤涵、

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