GB/T 16595-2019 晶片通用网格规范
GB/T 16595-2019
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标准GB/T 16595-2019标准状态
- 发布于:2019-03-25
- 实施于:2020-02-01
- 废止
内容简介
国家标准《晶片通用网格规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了可用于定量描述圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。本标准适用于标称直径100mm~200mm的硅片,也适用于其他半导体材料晶片。
起草单位
浙江海纳半导体有限公司、有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、浙江省硅材料质量检验中心、
起草人
潘金平、 饶伟星、 楼春兰、 徐新华、 王伟棱、 郑欢欣、 杨素心、卢立延、吴雄杰、高海军、余俊军、
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