GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法
GB/T 30866-2014
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标准GB/T 30866-2014标准状态
- 发布于:2014-07-24
- 实施于:2015-02-01
- 废止
内容简介
国家标准《碳化硅单晶片直径测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。本标准适用于碳化硅单晶片直径的量。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院、
起草人
丁丽、 周智慧、 蔺娴、郝建民、
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