GB 50809-2012 硅集成电路芯片工厂设计规范_标准下载

GB 50809-2012 硅集成电路芯片工厂设计规范

Code for design of silicon integrated circuits wafer fab

国家标准强制性

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本规范适用于新建、改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计。

信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司、信息产业部电子工程标准定额站、中国电子工程设计院、中芯国际集成电路制造有限公司、上海华虹NEC微电子有限公司

王毅勃、王明云、李骥、肖劲戈、江元升、黄华敬、何武、夏双兵、陆崎、谢志雯、朱琳、刘娟、刘序忠、高艳敏、朱海英、徐小诚、刘姗宏

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