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SJ/T 11583-2016 电子陶瓷及其封接气密性测试方法

SJ/T 11583-2016 电子陶瓷及其封接气密性测试方法

SJ/T 11583-2016

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  • 标准名称：电子陶瓷及其封接气密性测试方法
  • 标准号：SJ/T 11583-2016
    中国标准分类号：Q32
  • 发布日期：2016-01-15
    国际标准分类号：81.060
  • 实施日期：2016-06-01
    技术归口：全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：玻璃和陶瓷工业陶瓷陶瓷制品SJ 电子

内容简介

行业标准《电子陶瓷及其封接气密性测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了电子陶瓷材料、已金属化的待封接电子陶瓷或已封接的电真空陶瓷管制品的封接气密性测试原理、测试装置以及测试步骤等内容。本标准适用于电子陶瓷材料，如95瓷、93瓷等以及已金属化的电子陶瓷或已封接的电真空陶瓷管制品室温下封接气密性的测试。

起草单位

湖南省新化县鑫星电子陶瓷有限责任公司、中国电子材料行业协会真空电子与专用金属材料分会、国家电子陶瓷质量监督检验中心

起草人

曹培福、高陇桥、曹建平

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