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YS/T 1434-2021 六氯乙硅烷组分含量的测定?气相色谱法

YS/T 1434-2021 六氯乙硅烷组分含量的测定?气相色谱法

YS/T 1434-2021

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准详情

  • 标准名称:六氯乙硅烷组分含量的测定?气相色谱法
  • 标准号:YS/T 1434-2021
    中国标准分类号:H17
  • 发布日期:2021-12-02
    国际标准分类号:77.040
  • 实施日期:2022-04-01
    技术归口:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243);全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
  • 代替标准:
    主管部门:工业和信息化部
  • 标准分类:冶金制造业YS 有色金属

内容简介

行业标准《六氯乙硅烷组分含量的测定?气相色谱法》,主管部门为工业和信息化部。本文件规定了六氯乙硅烷中三氯氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他组分含量的气相色谱测定方法。本文件适用于六氯乙硅烷中三氯氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他组分含量的测定,各组分的测定范围(质量分数)为不小于0.001%。

起草单位

洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、内蒙古通威高纯晶硅有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、雅波拓(福建)新材料有限公司

起草人

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