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SJ 3245-1989 磷化铟单晶位错的测量方法

SJ 3245-1989 磷化铟单晶位错的测量方法

SJ 3245-1989

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 3245-1989标准状态

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本标准规定了磷化铟单晶(100)面和(111)In面位错的腐蚀显示及显微测量的原理、仪器试剂、测量步骤。本标准适用于位错密度在0～10^(5)/cm^(2)范围的单晶测量，被检测晶面的晶向偏差在5°以内。

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