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GB/T 9506.1-1988 吸气剂性能测试方法通则

GB/T 9506.1-1988 吸气剂性能测试方法通则

Generic rules for test method of getter properties

GB/T 9506.1-1988

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标准GB/T 9506.1-1988标准状态

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  • 标准名称：吸气剂性能测试方法通则
  • 标准号：GB/T 9506.1-1988
    中国标准分类号：L32
  • 发布日期：1988-06-25
    国际标准分类号：31-030
  • 实施日期：1988-12-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电子学电子技术专用材料

内容简介

国家标准《吸气剂性能测试方法通则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了吸气剂性能测试中必须共同遵守的测试条件、辅助工艺规程以及对主要测试设备的要求，适用于吸气剂产品性能的测试。

起草单位

南京工学院、

起草人

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