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T/WHQASA 12-2024 10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座

T/WHQASA 12-2024 10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座

T/WHQASA 12-2024

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标准T/WHQASA 12-2024标准状态

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标准详情

  • 标准名称：10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座
  • 标准号：T/WHQASA 12-2024
    中国标准分类号：G92/C352
  • 发布日期：2024-12-30
    国际标准分类号：71.120.99
  • 实施日期：2024-12-30
    团体名称：芜湖市质量与标准化协会
  • 标准分类：化工技术C 制造业

内容简介

本文件规定了10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品（以下简称“下部加热基座”）的技术要求、检测方法、检验规则以及包装、运输和贮存
本文件适用于10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品的研制、生产、检验和交付
1　范围2　规范性引用文件3　术语和定义4　要求5　试验方法6　检验规则7　标志和随行文件8　包装、运输和贮存

起草单位

芜湖通潮精密机械股份有限公司、合肥京东方显示技术有限公司、芜湖芯通半导体材料有限公司、芜湖长信科技股份有限公司、芜湖晶纯科技有限公司、安徽润景信息科技有限公司。

起草人

司奇峰、王慧、刘其贵、何新玉、熊宏祥、王玉亮、王宜申、吴小杰、郑建军、王茹、黄锦祥、张丽

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