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T/ZJCX 0049-2024 碳化硅衬底激光剥离设备

T/ZJCX 0049-2024 碳化硅衬底激光剥离设备

T/ZJCX 0049-2024

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标准T/ZJCX 0049-2024标准状态

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  • 标准名称:碳化硅衬底激光剥离设备
  • 标准号:T/ZJCX 0049-2024
    中国标准分类号:L95/C391
  • 发布日期:2024-12-24
    国际标准分类号:31-550
  • 实施日期:2024-12-25
    团体名称:浙江省企业技术创新协会
  • 标准分类:C 制造业31-550

内容简介

本文件规定了碳化硅衬底激光剥离设备的术语和定义、工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和贮存。本文件适用于碳化硅衬底激光剥离设备的生产和检验。

起草单位

西湖仪器(杭州)技术有限公司、西湖大学、西湖大学光电研究院、北京天科合达半导体股份有限公司、山西烁科晶体有限公司、浙江材孜科技有限公司、河北同光半导体股份有限公司

起草人

仇旻、刘东立、俞小英、朱佳凯、刘峰江、陈文轩、刘春俊、魏汝省、王明华、崔景光

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