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T/CSCP 0059.1-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第1部分：通用要求

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T/CSCP 0059.1-2025

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标准T/CSCP 0059.1-2025标准状态

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  • 标准名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第1部分：通用要求
  • 标准号：T/CSCP 0059.1-2025
    中国标准分类号：/C397
  • 发布日期：2025-09-01
    国际标准分类号：77.060
  • 实施日期：2025-10-01
    团体名称：中国腐蚀与防护学会
  • 标准分类：冶金C 制造业

内容简介

本文件规定了MEMS材料腐蚀芯片及传感器的通用技术、设计、选材、制造及测试要求
本文件适用于各类MEMS材料腐蚀芯片及传感器的设计、制造、检验与应用，用于腐蚀环境的监测与评估
标准主要对MEMS材料腐蚀芯片及传感器的通用性设计进行规定，包括MEMS材料腐蚀芯片及传感器的工作原理、MEMS材料腐蚀芯片及传感器的分类、MEMS材料腐蚀芯片及传感器的工艺过程、MEMS材料腐蚀芯片及传感器的测试、MEMS材料腐蚀芯片及传感器的接口标准等。

起草单位

北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、南方电网科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司

起草人

杨小佳、李晓刚、程学群、张强、卢壹梁、黄增浩、黄路遥、郝文魁、陈云、孙雷、李清、徐迪、朱仁政、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、马宏驰、王晓芳、杨丙坤、韩钰

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