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T/CI 961-2025 半导体设备用碳化硅陶瓷零部件

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本文件规定了半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义、产品结构和分类、生产工艺、技术要求、试验方法、检验规则和应用
本文件适用于半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的生产制造和应用
本文件规定了半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义、产品结构和分类、生产工艺、技术要求、试验方法、检验规则和应用。

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