T/CASME 1953-2025 半导体设备用全氟醚橡胶密封制品_标准下载

T/CASME 1953-2025 半导体设备用全氟醚橡胶密封制品

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本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。

江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司

刘韬、徐丹、刘雪莲

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