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GB/T 20230-2022 磷化铟单晶

GB/T 20230-2022 磷化铟单晶

Indium phosphide single crystal

GB/T 20230-2022

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标准GB/T 20230-2022标准状态

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  • 标准名称:磷化铟单晶
  • 标准号:GB/T 20230-2022
    中国标准分类号:H83
  • 发布日期:2022-03-09
    国际标准分类号:29.045
  • 实施日期:2022-10-01
    技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准:GB/T20230-2006
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《磷化铟单晶》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所、广东先导微电子科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、云南鑫耀半导体材料有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、

起草人

孙聂枫、李晓岚、惠峰、李素青、邵会民、周铁军、王博、张晓丹、王阳、刘惠生、朱刘、王书杰、史艳磊、付莉杰、姜剑、王宇、

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