GB/T 20230-2022 磷化铟单晶
GB/T 20230-2022
国家标准推荐性标准GB/T 20230-2022标准状态
- 发布于:2022-03-09
- 实施于:2022-10-01
- 废止
内容简介
国家标准《磷化铟单晶》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了磷化铟单晶的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。本文件适用于制作光电、微电器件用的磷化铟单晶锭及磷化铟单晶抛光片。
起草单位
中国电子科技集团公司第十三研究所、广东先导微电子科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、云南鑫耀半导体材料有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、
起草人
孙聂枫、 李晓岚、 惠峰、 李素青、 邵会民、 周铁军、 王博、 张晓丹、 王阳、刘惠生、朱刘、王书杰、史艳磊、付莉杰、姜剑、王宇、
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