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GB/T 26111-2023 微机电系统（MEMS）技术术语

Micro-electromechanical system technology—Terms

GB/T 26111-2023

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标准GB/T 26111-2023标准状态

发布于：2023-05-23
实施于：2023-09-01
废止

标准详情

标准名称：微机电系统（MEMS）技术术语
标准号：GB/T 26111-2023
中国标准分类号：L59
发布日期：2023-05-23
国际标准分类号：31.080.99
实施日期：2023-09-01
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
代替标准：代替GB/T 26111-2010
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学半导体分立器件其他半导体分立器件

内容简介

国家标准《微机电系统（MEMS）技术术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

起草单位

中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、无锡华润上华科技有限公司、北京航空航天大学、天津大学、西安现代控制技术研究所、北京晨晶电子有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、广州广电计量检测股份有限公司、杭州左蓝微电子技术有限公司、华东光电集成器件研究所、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司、西安知微传感技术有限公司、北京大学、中国科学院空天信息创新研究院、上海交通大学、北京航天控制仪器研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、天津新智感知科技有限公司、中国科学院微电子研究所、南京高华科技股份有限公司、广州奥松电子股份有限公司、江苏普诺威电子股份有限公司、

起草人

顾枫、宋秀敏、张大成、夏长奉、张卫平、胡晓东、刘奎、熊斌、崔波、陈得民、李晓波、 SHUMINZHANG、杨飞、高峰、李根梓、孙立宁、夏善红、董全林、刘会聪、邢朝洋、张永斌、张威、王玮冰、明志茂、张宾、张胜兵、

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