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SJ/T 11853-2022 正压悬浮区熔单晶硅炉

SJ/T 11853-2022 正压悬浮区熔单晶硅炉

SJ/T 11853-2022

行业标准-SJ 电子推荐性
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标准SJ/T 11853-2022标准状态

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标准详情

  • 标准名称：正压悬浮区熔单晶硅炉
  • 标准号：SJ/T 11853-2022
    中国标准分类号：L97
  • 发布日期：2022-10-20
    国际标准分类号：31.22
  • 实施日期：2023-01-01
    技术归口：工业和信息化部
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：电子学SJ 电子

内容简介

行业标准《正压悬浮区熔单晶硅炉》，主管部门为工业和信息化部。本文件规定了正压悬浮区熔单晶硅炉（以下简称“区熔炉”）的产品标记和主要参数、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、储存。本文件适用于以高纯多晶硅做原料，采用悬浮区熔法进行半导体级单晶硅生长的单晶硅炉。

起草单位

浙江晶盛机电股份有限公司、浙江晶鸿精密机械制造有限公司、浙江求是半导体设备有限公司、天津中环领先材料技术有限公司、中国电子技术标准化研究院

起草人

曹建伟、朱亮、傅林坚、张俊、郑丽霞、叶钢飞、刘嘉、王遵义、孙健、曹可慰、吴怡然、李其聪

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