SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式PECVD设备_标准下载

当前位置：标准网行业标准

SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式PECVD设备

SJ/T 11829.1-2022

行业标准-SJ 电子推荐性

收藏报错

标准SJ/T 11829.1-2022标准状态

发布于：2022-10-20
实施于：2023-01-01
废止

标准详情

标准名称：晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式PECVD设备
标准号：SJ/T 11829.1-2022
中国标准分类号：L95
发布日期：2022-10-20
国际标准分类号：31.55
实施日期：2023-01-01
技术归口：全国半导体没备和材料标推化技术委员会
代替标准：
主管部门：工业和信息化部
标准分类：电子学 SJ 电子

内容简介

行业标准《晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式PECVD设备》，主管部门为工业和信息化部。本文件规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备（以下简称“管式PECVD设备”）的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。本文件适用于晶体硅光伏电池用管式PECVD设备膜，产品主要用于在晶体硅光伏电池减反射膜、钝化膜的淀积与氢钝化。

起草单位

湖南红太阳光电科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十八研究所、中国电子技术标准化研究院

起草人

吴得铁、田湘龙、龙会跃、成秋云、李晔纯、范迎新、肖友文、冯亚彬

相近标准

SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第2部分：板式PECVD设备
20231870-T-339 光伏电池第1部分：晶体硅光伏电池光致衰减试验方法
20231864-Z-339 光伏电池第2部分：晶体硅光伏电池电致发光图像
SJ/T 10311-1992 低压化学气相淀积设备通用技术条件
20232705-T-339 地面用晶体硅光伏电池总规范
20231867-Z-339 光伏电池第4部分：晶体硅光伏电池光热诱导衰减试验方法
SJ/T 11801—2024 晶体硅光伏电池用背面银浆
SJ/T 11802—2024 晶体硅光伏电池用正面银浆
NB/T 42104.1-2016 地面用晶体硅光伏组件环境适应性测试要求第1部分：一般气候条件

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载