当前位置：标准网 行业标准

SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

SJ/T 11503-2015

行业标准-SJ 电子推荐性
收藏报错

标准SJ/T 11503-2015标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
  • 标准号：SJ/T 11503-2015
    中国标准分类号：H83
  • 发布日期：2015-04-30
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2015-10-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：电气工程半导体材料SJ 电子

内容简介

行业标准《碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了测试碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的方法,包括表面轮廓仪法和原子力显微镜法。本标准适用于碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试。其中,原子力显微镜法仅适用于经过化学机械抛光或光学抛光且表面粗糙度的起伏在零点几纳米至几微米范围内的碳化硅单晶抛光片。

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

丁丽、何友琴、郑红军

相近标准

SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
GB/T 13288.4-2013 涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理后的钢材表面粗糙度特性 第4部分：ISO表面粗糙度比较样块的校准和表面粗糙度的测定方法 触针法
GB/T 13288.1-2008 涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理后的钢材表面粗糙度特性 第1部分: 用于评定喷射清理后钢材表面粗糙度的ISO表面粗糙度比较样块的技术要求和定义
GB/T 13288.3-2009 涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理后的钢材表面粗糙度特性 第3部分：ISO表面粗糙度比较样块的校准和表面粗糙度的测定方法 显微镜调焦法
SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范
GB/T 13288.5-2009 涂覆涂料前钢材表面处理 喷射清理后的钢材表面粗糙度特性 第5部分：表面粗糙度的测定方法 复制带法
GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片
GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
JB/T 7976-2010 轮廓法测量表面粗糙度的仪器　术语

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载
  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」