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GB/T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

GB/T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption

GB/T 1558-1997

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标准GB/T 1558-1997标准状态

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  • 标准名称：硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
  • 标准号：GB/T 1558-1997
    中国标准分类号：H21
  • 发布日期：1997-12-22
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：1998-08-01
    技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB 1558-1983被GB/T 1558-2009代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

本标准规定了硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法。 本标准适用于载流子浓度小于5×10cm、室温电阻率大于0.1Ω·cm的硅单晶中代位碳原子浓度的测定。由于碳也可能存在于间隙位置，因而本方法不能测定总碳浓度。 本标准也适用于硅多晶中代位碳原子浓度的测定，其晶粒界间区的碳同样不能测定。 本标准测量碳原子浓度的有效范围为：室温下从硅中代位碳原子浓度1×10at·cm（200PPba）到碳原子的最大溶解度，77K时下限降到5×10at·cm（100PPba）。

起草单位

峨嵋半导体材料厂

起草人

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