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SJ/T 11183-2022 旋转式涂覆设备通用规范

SJ/T 11183-2022 旋转式涂覆设备通用规范

SJ/T 11183-2022

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标准SJ/T 11183-2022标准状态

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  • 标准名称：旋转式涂覆设备通用规范
  • 标准号：SJ/T 11183-2022
    中国标准分类号：L95
  • 发布日期：2022-10-20
    国际标准分类号：31.55
  • 实施日期：2023-01-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员
  • 代替标准：代替SJ/T 11183—1998
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：电子学SJ 电子

内容简介

行业标准《旋转式涂覆设备通用规范》，主管部门为工业和信息化部。本文件规定了旋转式涂覆设备的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于泛半导体微纳加工光刻工艺制程中的旋转式涂覆设备（以下简称设备）。

起草单位

沈阳芯源微电子设备有限公司、中国电子技术标准化研究院

起草人

宗润福、徐春旭、刘正伟、冯亚彬

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