GB/T 36655-2018 电子封装用球形二氧化硅微粉中α态晶体二氧化硅含量的测试方法 XRD法
GB/T 36655-2018
国家标准推荐性标准GB/T 36655-2018标准状态
- 发布于:2018-09-17
- 实施于:2019-01-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子封装用球形二氧化硅微粉中α态晶体二氧化硅含量的测试方法 XRD法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC3(全国半导体设备和材料标准化技术委员会封装分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了电子封装用球形二氧化硅微粉中α态晶体二氧化硅含量的XRD测试方法。本标准适用于电子封装用球形二氧化硅微粉中检测α态晶体二氧化硅含量,其他无定形二氧化硅含量的检测也可参照本标准执行。α态晶体二氧化硅含量测试范围0.5%以下半定量分析,0.5%~5%定量分析。
起草单位
国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、汉高华威电子有限公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、
起草人
封丽娟、 李冰、 曹家凯、 吕福发、 陈进、夏永生、阮建军、王松宪、
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