GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范
GB/T 16524-1996
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标准GB/T 16524-1996标准状态
- 发布于:1996-09-09
- 实施于:1997-05-01
- 废止
内容简介
国家标准《光掩模对准标记规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。 本规范适用于光掩模。
起草单位
中国科学院微电子中心、
起草人
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